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等离子体刻蚀终点检测仪
英国Hiden公司的IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。
 
超高真空TPD工作站
英国Hiden公司的UHV-TPD Workstation超高真空TPD工作站。
 
二次离子质谱工作站
英国Hiden公司的SIMS Workstation 二次离子质谱工作站。
 
二次离子质谱探针
英国Hiden公司的EQS二次离子质谱探针。
 
二次离子/溅射中性粒子质谱仪
英国Hiden公司的MAXIM 二次离子溅射中性粒子质谱仪可分析二次阴、阳离子动态和中性粒子。
 
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产品分类
在线气体分析  (14)
残余气体分析  (10)
等离子体-材料表面  (15)
催化、吸附、热分析  (15)
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粒子界面特性分析  (0)
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