腐蚀性气体分析质谱仪
Hiden LAS 泄漏分析系统
便携式膜进样质谱仪
DECRA 气体分析质谱仪
QGA 定量气体分析质谱仪
HPR-20 R&D 研究级在线气体分析质谱仪
HPR-20 EGA 逸出气体在线分析质谱仪
HPR-20 TMS 瞬变过程气体分析质谱仪
HPR-40 MIMS 膜进样质谱仪
HPR-60 常压分子束取样质谱仪
HPR-70 批量进样气体分析质谱仪
HPR-90密封气体分析质谱仪
QIC BIOSTREAM 生物发酵多路气体分析质谱仪
QGA 定量软件
MASsoft专业软件
EGAsoft专业软件
残余气体分析四极质谱仪
超高真空残余气体分析四极质谱仪
三级过滤高分辨四极质谱仪
分子束外延残余气体分析四极质谱仪
分子束外延沉积速率监测/控制系统
托卡马克装置残余气体分析质谱仪
快速反应质谱仪
IDP离子/分子分析质谱仪
EPIC离子/分子分析质谱仪
离子源
飞行时间二次离子质谱仪 TOF-SIMS
过程气体分析质谱仪
EQP等离子体质量和能量分析质谱仪
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高级朗缪尔探针
等离子体刻蚀终点检测仪
超高真空TPD工作站
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二次离子质谱探针
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铯离子枪
Ar/O2离子枪
激光分子束外延镀膜系统
MBR 气体膜分离测试仪
ABR 竞争性气体吸附分析仪
IGA-智能重量法吸附分析仪
水分吸附仪
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磁悬浮天平高压吸附仪
催化微反应器–质谱仪
QGA-定量气体分析质谱仪
瞬变过程气体分析质谱仪
空间分辨质谱仪
常压分子束取样质谱仪
热重分析质谱仪
多路采样阀
VOCs走航监测仪
VOCs 和大气自由基分析-质子转移反应飞行时间质谱仪 PTR3-TOF
小型在线VOCs质谱仪 PTR-QMS 300
质子转移反应飞行时间质谱仪 PTR-TOF 1000
PTR-TOF 1000 Ultra
质子转移反应飞行时间质谱仪 PTR-TOF 4000
质子转移反应飞行时间质谱仪 PTR-TOF 6000 X2
可选择性离子源
气体自动定标校准系统
LCU-液态自动定标校准系统
BET-呼气采样系统
FastGC-快速气相色谱
PTR-MS 多路进样器
NASE-鼻腔采样器
DEMS 电化学质谱仪
高压导热系数分析仪
导热系数测试仪
高纯气体分析
相变材料导热系数测试方法
HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser),适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。
·简洁的桌上型,移动推车或控制台架结构 ·Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达到最适宜的灵敏度 ·软离子化技术,分析复杂有机物,或表观MS研究 ·MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制 ·气动阀自动控制;出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置 ·自动、同时数据取得、分析,实时显示、报警
·质量数范围: 1~200 amu(标准配置); 300、510、1000amu可选
·高灵敏度: 5ppb
·取样压力: 10-4mbar~1mbar 标准配置
1mbar~30bar 选配
·稳定性好: 24h以上,小于峰高的±0.5%
·过程控制开关
·信号输入、输出接口
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
AP0002 - Surface Characteristics of Parylene-C Films in an Inductively Coupled O2/CF4 Gas Plasma (211 KB)
Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (343 KB)
HPR-30 Monitoring TiN Depsoition (113 KB)