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PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
Hiden plasma probes measure some of the key plasma parameters and provide detailed information relating to plasma reaction chemistry.


PSM是一台差式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。

 

·差式泵歧管,通过法兰与过程反应室连接

·电子附着选件,具有可调谐的离子源,用于表观电势MS
·Penning规和互锁装置可提供过压保护
·信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
·标准分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 离子分析可选

 

·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

·质量数范围:     0 ~ 2500amu

·脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围

·能量分析选件,标准 ±100eV1000eV可选

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选, 高压操作可选
·通过RS232RS485Ethernet LAN ,软件MASsoft 控制

 
  应用介绍
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