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等离子体刻蚀终点检测仪
The IMP-EPD is a differentially pumped, ruggedised secondary ion mass spectrometer for the analysis of secondary ions and neutrals from the ion beam etch process.

IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。

 

·差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室
·离子光学器件,带能量分析器和内置离子源
·Penning规和互锁装置,以提供过压保护
·数据系统与过程控制工具整合

 

·高灵敏度的 SIMS / MS,带脉冲离子计数检测器
·三级过滤四极杆,标准配置质量数为300amu
·稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)
·通过 RS232RS485或以太网, 软件MASsoft控制
·程控DDE, 平行数字式I/ORS232通讯

 
  应用介绍
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