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二次离子质谱工作站
The Hiden SIMS Workstation provides for high performance static and dynamic SIMS applications for detailed surface composition analysis and depth profiling.

SIMS 工作站(SIMS Workstationa complete SIMS Analysis Facility) ,综合UHV / SIMS 设备,进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。

 

·整合的离子源,便于RGASNMS

·各类型样品的快速转向

·阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪

·整合的离子枪光栅控制和信号选通,进行深度分析
·绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和
·液氮冷井和真空室烘烤加热器
·自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表,使SIMS性能最佳

 

·Hiden EQS SIMS 分析仪,运行于 MASsoft O/S 之下,检测限至ppb

·基本的激发源选择: 带差式泵的Hiden IG20 IonIFG200 FAB或高性能液态镓枪
·快速样品传递,样品固定,负载锁定的操纵器
·4 轴:X, Y, Z, θ UHV 操纵器,以最佳定位样品
·加上ESM LabVIEWSIMS 成像程序,进行SIMS元素成像
·静态SIMS谱图库可用

 
  应用介绍
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