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二次离子质谱探针
The Hiden MAXIM quadrupole SIMS analyser is a state of the art secondary ion mass spectrometer for positive and negative, static, dynamic and neutral analytical applications.

EQS 是差式泵式二次离子质谱(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

 

·光栅控制,增强深度分析能力
·所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
·灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器




 

·质量数范围:   300amu500amu1000amu

·检测器:         离子计数探测器、正负离子探测器、10cps

·质量过滤器:   3F四级杆

·杆直径:         9mm

·最高加热:      250

·离子源:         电子轰击,可用于SNMSRGA的单根灯丝

 
  应用介绍
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