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Ar/O2离子枪
The IG20 features a high brightness electron impact gas ion source which is designed specifically for oxygen capability but is also suitable for use with inert and other gases.

Hiden IG20 Ar/O2离子枪(Ion Gun),先进的离子枪,配合SIMS进行材料表面和深度的分析。

 

·静态、动态SIMS
·俄歇电子谱
·离子束溅射
·表面科学研究
·光栅/ 深度分析

·具有100μm光斑直径的、0.55 keV能量的强离子束
·高电流密度4.5 mA/cm2
·电子轰击离子源具有氩和氧离子能力
·扫描线散射和离子束光栅的光学调整功能,用于深度分析
·离子枪的偏移量,用于中性粒子的最佳排斥
·在光栅应用中,束消隐装置可以快速进行束的转换
·差式泵源减少室内气体
·便于更换的双灯丝
·扫描速度可低至64μs
·SIM EQS 探针一起,可以直接进行光栅速率/区域控制

 

·能量范围:         500eV ~ 5KeV

·最大电流:         800nA

·最小光斑尺寸:   50μm

·离子源寿命:     1000小时

·法兰规格:        斜楔法兰DN-35-CF

·气源压力:        0.1~0.5bar至一个大气压

 
  应用介绍
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