·静态、动态SIMS
·俄歇电子谱
·离子束溅射
·表面科学研究
·光栅/ 深度分析

·具有100μm光斑直径的、0.5～5 keV能量的强离子束
·高电流密度4.5 mA/cm2
·电子轰击离子源具有氩和氧离子能力
·扫描线散射和离子束光栅的光学调整功能，用于深度分析
·离子枪的3°偏移量，用于中性粒子的最佳排斥
·在光栅应用中，束消隐装置可以快速进行束的转换
·差式泵源减少室内气体
·便于更换的双灯丝
·扫描速度可低至64μs
·与SIM 和EQS 探针一起，可以直接进行光栅速率/区域控制

·能量范围：         500eV ~ 5KeV

·最大电流：         800nA

·最小光斑尺寸：   50μm

·离子源寿命：     ＞1000小时

·法兰规格：        斜楔法兰DN-35-CF

·气源压力：        0.1~0.5bar至一个大气压