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原子散乱表面分析仪器
Pascal Sputtering system is suitable For Accurate Multi Layer DepositionHigher Deposition RateExcellent Film Thickness Distribution.

日本Pascal公司的(TOFLAS)原子散乱表面分析仪器是应用于表面分析 & 元素分析的。

 

·表面结构可视觉直观评估

·完全不受电场和磁场影响in-situ 分析

·单一原子层或结晶尺度的成长监测

·薄膜, 超薄膜, 单层薄膜, 石墨烯 …等绝缘, 半导体 & 金属

·最表面数层非常灵敏

 

·加热范围:                 ~1000

·能适应广泛的基底材料背景

·不适合高氧气分压环境

·激光加热最高:             ~1300

·独特的耐高温能力

·直径:                    φ10mm

·灯丝加热:                ~600

 
  应用介绍
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