首 页 下载中心 网站地图 English
 
  您现在的位置: 北京英格海德分析技术有限公司 > 产品展示 > 等离子体-材料表面 > 高级朗缪尔探针
 
 
高级朗缪尔探针
A system for the analysis of secondary positive and negative ions from solid samples.

 

ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的Langmuir探针。
 

·Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有的商业化探针中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率 

 

 

·获得数据速度:     15scans/s

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
·300600915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀,

·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选
·ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环,防止探针尖端污染
· 经由RS232RS485Ethernet LAN ESPsoft软件控制


 
  应用介绍
  相关产品

© Copyright 2014. www.hiden.com.cn. All Rights Reserved 京ICP备05008133号  京公网安备11010802009820

ѯ