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腐蚀性气体分析质谱仪

20年前,Hiden在国际知名期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪,初期主要应用于半导体行业的特气检测,如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等,强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等,强氧化性气体如CIF3、NF3等。

20年来,Hiden在这一细分领域具有强大的产品力,针对不同程度的腐蚀气体分析,提供不同的解决方案。

HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体,HF,HCl,HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。

腐蚀性气体分析质谱仪 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器,快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体,如反应中间产物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等强腐蚀性与半导体工艺气体。

20年前,Hiden在国际知名期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪,初期主要应用于半导体行业的特气检测,如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等,强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等,强氧化性气体如CIF3、NF3等。

20年来,Hiden在这一细分领域具有强大的产品力,针对不同程度的腐蚀气体分析,提供不同的解决方案。

HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体,HF,HCl,HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。

主要特点:

  • 连接件电抛光工艺处理
  • 取样压力: 1mTorr to 1000Torr
  • 高灵敏度三级过滤四极杆
  • 检测限可达 5 ppb
  • QGA专业版定量分析软件

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